Во вторник компания Lam Research представила коллаборативного робота Dextro (cobot), который обещает обеспечить точное и повторяемое обслуживание инструментов для фабрик.
На типичных предприятиях по производству пластин используются сотни инструментов, требующих регулярного комплексного обслуживания. Точность в обслуживании инструментов крайне важна, поскольку точная сборка подсистем напрямую влияет на выход продукции. Однако люди не так точны, как машины, но до недавнего времени они были единственным вариантом.
Dextro - это мобильная роботизированная установка с рукой, оснащенной сменными концевыми эффекторами для выполнения трех ключевых задач технического обслуживания. Кобот может устанавливать расходные компоненты с точностью, более чем в два раза превышающей точность ручной установки, обеспечивая правильную сборку и улучшая качество травления на краю пластины.
Он также может затягивать высокоточные болты вакуумной герметизации в точном соответствии со спецификациями, снижая процент ошибок, допускаемых вручную, на 5 % и предотвращая температурные отклонения, которые могут нарушить производство.
Наконец, Dextro может безопасно удалять полимерный налет со стенок камеры, не требуя ее разборки, что избавляет инженеров от необходимости использовать тяжелые защитные респираторы. Следует отметить, что Dextro не заменяет людей-техников, которые по-прежнему управляют установкой, а, скорее, дополняет их.
В настоящее время Dextro совместим с инструментами диэлектрического травления Lam серий Flex G и H. К 2025 году планируется расширить совместимость с другими инструментами, что позволит расширить их использование в полупроводниковой промышленности.
В настоящее время Dextro работает на нескольких передовых заводах по производству полупроводников по всему миру, обеспечивая улучшенные результаты первого раза и сокращая количество ошибок при обслуживании. Основная задача кобота Lam - выполнять высокоточные задачи по техническому обслуживанию с исключительной точностью и повторяемостью. Сложные операции по техническому обслуживанию обычно связаны с ошибками и трудоемки при ручном выполнении, поэтому использование коботов на фабриках действительно может повысить производительность.
Кроме того, автоматизируя повторяющиеся и сложные задачи, Dextro решает важнейшие проблемы отрасли, такие как нехватка квалифицированных инженеров и растущая сложность современного оборудования для производства пластин.
Наконец, добиваясь повторяемости результатов обслуживания, Dextro позволяет значительно сократить отходы, расходные материалы и время, теряемое из-за перерывов в производстве, что увеличивает время безотказной работы инструмента - важнейший показатель для производителей микросхем.
«Когда производственное оборудование требует обслуживания, работа должна быть выполнена быстро и эффективно, чтобы избежать длительного простоя инструмента и лишних затрат», - говорит Янг Джу Ким, вице-президент и глава группы технологий травления памяти в Samsung Electronics. Безошибочное обслуживание с помощью Dextro помогает повысить вариативность производства и выход продукции». Это захватывающая веха на пути Samsung к автономной фабрике».
Оригинал
Уникальность
