Как крупнейший в мире контрактный производитель полупроводников, TSMC управляет десятками фабрик и потребляет колоссальные объёмы электроэнергии — около 9% от общего энергопотребления Тайваня. В сентябре 2025 года компания запустила программу энергосбережения EUV Dynamic Energy Saving Program, направленную на снижение энергопотребления инструментов EUV-литографии в стремлении сократить расходы и достичь целей устойчивого развития.
С сентября 2025 года TSMC начала поэтапное внедрение программы на фабриках 15B, 18A и 18B, и первые результаты выглядят многообещающими. Компания планирует завершить полное развёртывание программы на всех своих EUV-инструментах по всему миру к концу 2025 года, а также сделать её обязательным стандартом для всех новых фабрик, начиная с фазы 2 Fab 21 в Аризоне. TSMC прогнозирует, что программа позволит сэкономить 190 миллионов киловатт-часов (кВт·ч) электроэнергии и сократить выбросы углерода на 101 килотонну к 2030 году.
TSMC также рассматривает возможность применения аналогичных механизмов динамического управления энергией к другому литографическому оборудованию, включая DUV-сканеры, а также к модулям за пределами литографического сектора.Хотя TSMC не раскрыла деталей программы EUV Dynamic Energy Saving, её применимость к DUV-системам и другому оборудованию указывает на отсутствие зависимости от специфических особенностей EUV. Вероятно, программа использует адаптивное масштабирование мощности в зависимости от текущего состояния оборудования.
Например, если пластины не готовы к немедленной обработке, EUV-инструмент может переходить в режим низкого энергопотребления или приостанавливать работу, вместо постоянного потребления полной мощности. Такой подход потребовал бы обмена данными в реальном времени в чистой комнате и оптимизации производственных процессов (хотя это предположение).TSMC уже несколько лет работает над повышением энергоэффективности своих EUV-инструментов, известных высоким энергопотреблением.
В середине 2024 года компания сообщила о сокращении энергопотребления своих EUV-литографических систем на 24%, не уточняя, какие именно меры были приняты. Усовершенствованная автоматизация на уровне фабрик с передовыми системами управления, которые динамически регулируют энергопотребление инструментов в зависимости от текущей производственной нагрузки, позволила снизить пиковое энергопотребление EUV-инструментов на 44%, сохраняя производительность, качество и выход годной продукции. Хотя экономия в 190 миллионов кВт·ч к 2030 году звучит внушительно и может сэкономить TSMC около $22,44 миллиона (при ставке 3,78 тайваньских доллара за кВт·ч), это лишь незначительная доля от общего энергопотребления компании.
В 2024 году TSMC потребляла 25,55 миллиарда кВт·ч, из которых 21,94 миллиарда поступили из невозобновляемых источников и 3,61 миллиарда — из возобновляемых, согласно данным SemiVision. Только 46,1% электроэнергии использовалось непосредственно производственными инструментами, тогда как 53,9% ушло на вспомогательные системы, такие как охлаждение и вентиляция.
Оригинал
Уникальность
